M2 レチクル チェンジャ

Brooks M2 レチクル チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。

特徴

  • 全自動レチクル/マスク処理
  • クラス 1 ミニ環境/ESD/AMC
  • レチクル方向
  • レチクル コード識別
  • ボックスの RF タグまたはバーコード識別
  • ブライト ライト ビジュアル検査
  • 組み込み計測ツール
  • N2 噴出