Vision™ ロード ポート モジュール

Brooks は世界最大級の半導体オートメーション サプライヤであり、LPM 技術の考案者でもあります。Brooks は、ロード ポート モジュールを世界中の半導体製造工場に出荷しています。Brooks ロード ポート モジュールは、今日の半導体メーカーの厳しい要求に応えるために、優れたクリーン性能と、ロード ポートから FOUP への高い相互運用性を提供します。Brooks ロード ポート モジュールは、プロセス ツールの他の部分の利用できる機能を活用することで、コストと複雑さを最小限に抑えます。また、Brooks ロード ポート モジュールは、安全で、効率的で、清浄度の非常に高い、プロセス ツールからウエハーのローディングとアンローディング、およびプロセスツールへのウエハーのローディングとアンローディングを実現するために、必要なステータス インターフェイス、コントロール インターフェイス、ハードウェア セーフティ インターロックのすべてを提供します。

データ シート

Vision™ ロード ポートは、Brooks の最新世代のロード ポート モジュールです。Vision ロード ポートは、高い信頼性と優れたクリーン性能の実現をサポートするツール オートメーションのためのインテリジェントで柔軟な工場インターフェイス モジュールです。セットアップと組み込みに非常に長いリード タイムが必要な LPM と異なり、Vision ロード ポートは、最高の相互運用性、シームレスな互換性、および設定の容易さを目指して設計されています。Vision ロード ポートは、手動、または AMHS 搬送によって届けられる、すべての SEMI 適合 Front Opening Unified Pod (FOUP) および自動式の前面開口型運搬ボックス (FOSB) に対応します。

Vision ロード ポート モジュールは、広く導入されている Brooks の FIXLOAD™ 製品ラインに組み込まれた最新技術と専門知識をさらに進化させ、最高の製造性能および信頼性を届けます。

特徴

  • 1 つの設備で 300 mm と 450 mm の両方に対応
  • ボタンをタッチするだけで、工場独自の設定が可能なローカル カラー LCD インターフェイス
  • 高さおよび水平調整が一度で済むキネマティック マウント システム
  • リード タイムを削減するための、ラインの終わりの設定オプション (キャリア ID、マッピング、E84 など)
  • 設備要件を緩和し、信頼性を高めるためのサーボ モーション制御
  • BOLTS および FIXLOAD に対応
  • 500,000 サイクルを超える MCBF