IsoPort™ I/O ポート

IsoPort, the production-proven 300 mm I/O port, broke new ground in automated 300 mm wafer handling with its industry leading interoperability and flexibility. It leverages pioneering leadership in automation technology to deliver a reliable, economic, Front-Opening-Unified-Pod (FOUP) interface.

IsoPort は、構成の自由度が高く、どのようなツールとも簡単に統合可能な自動ウエハー ハンドリング ソリューションを、半導体機器メーカーに提供しています。IsoPort I/O ポートは、300 mm ウエハーに移行しようとしている機器メーカーと半導体メーカーの両方に、多くの大きなメリットを提供します。

最大の生産性と収益性

  • 正確なサーボ制御モーション、洗練されたラッチキー設計、最適化されたキャリア検知機能によって、クラス最高の相互運用性性能を提供
  • ウエハー キャリアがより大きく、より重くなり、生産リスクが大幅に増加した現在のオートメーションに求められる、人間工学的および経済的コストの限界を突破
  • 最適化されたツール スループットが、FOUP の到着から、ウエハーへの最初のアクセスまでの時間をわずか 8 秒に短縮
  • ISO クラス 1 パーティクル レベルに準拠したクラス最高の清浄度
  • すべてのタイプの自動キャリア識別ソリューション (RF、赤外線、バーコード) を簡単に組み込むことができる、構成が変更可能な設計