Certon™ 450mm ロード ポート

Certon™ 450 mm ロード ポートは、450 mm FOUP、FOSB、および MAC (多目的キャリア) の規格に準拠しています。Certon 450 mm ロード ポートは、動作を同期して同時にポッド ドアを閉じる仕組みを持つ、390 ニュートンの等分布荷重が可能な特許出願中のポート ドアなどの独自の機能を持ちます。

特許取得済みの個人客向けサービス (Tilt and Go) 機能により、1 人だけで取り付けおよび取り外しが可能です。また、分布質量が均等なので、取り扱いが簡単です。本 450 mm ロード ポートの重量は、80 kg にすぎず、競合ロード ポートの半分しかありません。

標準機能での実装

  • ウエハー マッピング (450 mm キャリア インサートの 300 mm ウエハーなど)
  • はみ出し検知
  • キャリア存在検知

設定の自由度の高さ

  • インジケータ ライトをソフトウェアで設定可能
  • 通信 – HSMS、SECS、ASCII (RS232)、ASCII (イーサネット)

使いやすさ

  • RFID 内蔵
  • ブラウザを選択可能
  • 以前使用していたロード ポートや競合ロード ポートをエミュレートするプロトコル コンバータ

低い所有コスト

  • 内部アライメントが不要なので、すばやくセットアップ可能
  • 計画的なメンテナンスが不要

クラス最高の人間工学

  • 個人客向けサービス (Tilt and Go)
  • 特許出願中の水平ドア閉め構造
  • 本製品についての詳細は、お住まいの地域の営業所にお問い合わせください。