ファクトリ オートメーション ソリューション

Brooks Automation は業界で最もクリーンなウエハ ソーターおよびロード ポートを提供しています。 Spartan ソーターは業界最高レベルのパーティクル性能、生産性、補修性を確保しており、300 mm の Vision ロード ポートは極めてクリーンで、信頼性と柔軟性に優れたツール インターフェイスを備えています。また、200 mm の SMIF ロード ポート トランスファー (LPT) 製品は SMIF ソリューションの業界標準に適合致します。さらに、Brooks は、装置の近くに設置可能な革新的なバッファ ソリューションを提供しており、それによりAMHS のボトルネックを軽減し、装置稼働率の向上に貢献致します。

Spartan 450mm ソーター
IsoPort ロード ポート