動画:半導体産業向け高性能クライオポンプ市場をリードするBrooks Automation

Brooks Automationは、半導体産業向け高性能クライオポンプ市場をリードしています。

クライオポンプ技術におけるBrooksの専門知識が優れているのは明らかです。当社は半導体製造向けの自動化および極低温ソリューションにおいて市場をリードしています。

当社の顧客との結びつきは強く、OEM顧客は200を超えます。当社の製品は、制御された環境において、取り扱いに慎重を要する材料のハンドリングを高い信頼性で可能にします。当社は、半導体製造向けの最初のクライオポンプから最初のスマートポンプや可変速コンプレッサーまで、過去40年にわたりクライオポンプの技術と革新のリーダーであり続けてきました。

ON BOARD IS 320FX

On Board IS 320FXクライオポンプはイオン注入に関して、業界最先端の排気速度、容量、アレイの寿命、効率といった複数の利点を兼ね備えています。水素排気速度および容量はクラス最高です。FXアレイ設計は、投与量保持を制限する一貫したベース圧が考慮されています。一貫して優れている真空性能は、この先進的クライオポンプの特徴です。

IS 320FXは特にインプラントプロセスのために設計され、クラス最高の水素排気速度と容量を提供しています。さらに、他のクライオポンプではすぐに元の排気速度の80%以下に低下してしまいますが、320FXは再生の間、最初の排気速度の90%超を維持します。

ON BOARD IS 8F

On Board IS 8F XPクライオポンプは、業界の評価を得ている、先進の堆積プロセスに対応したPVDポンプです。8F XPは、生産性とツール利用率を向上し、エネルギー効率を改善し、ツールの総所有コスト(TCO)を低減します。

8F XPの利点として、混合ガスプロセスの容量が大幅に増加し、再生と再生の間の時間が延長され、ツールの利用率が向上します。今日の、厳しく制御されたプロセス環境では、透明性の重要性を強調しすぎることはありません。XPは、8Fの前身である製品と同じ排気速度を誇り、数多くのエンドユーザーが幅広いプロセスや流量において、プロセスの透明性を実証しています。

アプリケーションエンジニアリング

Brooks アプリケーションエンジニアリングは、お客様のニーズに徹底して注目したソリューションを開発しています。

当社の技術コンサルタントモデルは、お客様の成功につながるアプリケーションの刷新、検証、開発を可能にします。 

たとえば、当社のアプリケーションチームは、O2排気速度を最大化しながら、Ar排気中の柔軟性を提供するという2つの課題に対処する、クライオポンプハイブリッドアレイを開発しました。

ハイブリッドアレイのような、お客様との緊密な協力の下で開発されたソリューションは、プロセスの最適化に必要な柔軟性とチューニングをプロセスエンジニアに提供します。

もう一つの課題は、キセノンスラスタの設計およびテストのためのスペースシミュレーションアプリケーションでした。

繰り返しになりますが、当社のアプリケーションチームは、元から存在する3つのキセノンポンプと2つのOn Boardクライオポンプを組み合わせた独自のソリューションを開発しました。 このソリューションは、速度と大規模チャンバーという両方の課題を解決するさまざまな制限を克服しました。

トレーニング、説明会、アップグレード、技術的分析のいずれであっても、当社は世界各地に相談の窓口を用意し、長年にわたる経験を問題の解決に活かします。

サービス

当社は、「グローバルに考え、ローカルに行動する」という視点で包括的にサービスを提供しています。

当社は、世界各地にサービスセンターと事務所を配置し、問題の迅速な解決と信頼性の高いクラス最高のカスタマーサポートを支援するGuaranteed Up-Time SupportおよびRapid Responseを提供しています。

当社製品を熟知した専門家は、フィールドサービスのネットワーク、Brooks Universityでのトレーニング、サプライチェーンマネジメントなど、数多くのサービスでお客様に対応します。

将来のための計画

Brooksは未来を見据えて計画を作成し、短期、長期の両方を視野に入れて半導体メーカーの競争力向上につながるソリューションを提供し続けます。