On-Board® IS クライオポンプ システム

Brooks CTI-Cryogenics のインテリジェントな On-Board IS クライオポンプ システムは、革新的な高効率極低温技術を活用し、類を見ない真空性能とエネルギー効率を提供します。特許取得済みの分散制御システムにより、クライオポンプ システムの個々の性能に対してモニタリングと調整が常時行われるため、システム全体で最適な真空性能が維持され、他社にないプロセス整合性を実現できます。

On-Board IS クライオポンプは、Brooks の迅速な世界規模のサービスとサポート ネットワークによって、現在入手可能なすべてのクライオポンプ システムの中で最も長い稼働時間、優れた生産性、低コストを実現します。

データ シート

   

特徴

  • 特許取得済みの分散制御システムにより、クライオポンプ システムの個々の性能に対してモニタリングと調整が常時行われるため、システム全体で最適な真空性能が維持され、他社にないプロセス整合性を実現できます。
  • シングルおよびマルチポンプ構成における最速の再生
  • 真空性能は維持したまま、エネルギーと冷却水の消費量を最小化
  • 容易なシステム統合
  • 短時間で立ち上げ可能
  • 強化された遠隔モニタリングにより予防保全と予知保全の双方に対応