On-Board® クライオポンプ

迅速な統合が可能でシステム運用を向上させる Brooks CTI-Cryogencis On-Board 極低温真空ポンプは、信頼性と性能における世界標準となっています。完全に統合されたコントロールと対応周辺機器を使用することで、On-Board クライオポンプは優れた稼働時間を実現し、その安定した性能によって全体的な装置の生産性と稼働時間を向上させます。

特徴

  • 再生間のクライオポンプの性能を拡大するFastRegen™ 機能
  • クライオポンプのネットワーク化で有効になる同時再生機能による、システム全体の再生の高速化
  • 内蔵マイクロプロセッサ制御による、性能の強化、診断ルーチンの実行、通信機能の提供
  • 性能と操作が大幅に改善される洗練されたソフトウェアと使いやすいグラフィカル ユーザー インターフェイス

On-Board クライオポンプ モデル

4F

8

8F

10

10F

250F

400

500

排気速度 - リットル/秒

 

水蒸気

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

6,500

17,500

30,000

空気

370

1,500

1,500

3,000

 

2,200

6,000

10,000

水素

370

2,500

2,200

5,000

 

3,200

12,000

12,000

アルゴン

310

1,200

1,200

2,500

 

1,800

5,000

8,400

吸蔵量 - 標準リットル

 

アルゴン

210

1,000

1,000

2,000

 

1,000

2,500

6,000

水素 (5x10-6 ト-ル)

3

17

12

24

24

16

42

45

標準的な再生時間 (コールド-コールド)

 

ファースト/セカンドステージ

75 分

2.5 時間

2.5 時間

2.5 時間

2.5 時間

<3.3 時間

3 時間

<3.8 時間

セカンド ステージ

<1 時間

<1 時間

<1 時間

<1 時間

<1 時間

<1.5 時間

<1.5 時間