Cryo-Torr® クライオポンプ

Brooks CTI-Cryogenics Cryo-Torr クライオポンプは、重要な真空プロセス アプリケーションにおいて、クリーンで信頼性の高い高速排気を提供します。柔軟性を高めるため、特定のアプリケーションのニーズに合わせて独自にカスタマイズしたコントロールおよび対応周辺機器を追加することができます。低い運用コストと迅速で容易な保守を実現可能なこれらのクライオポンプは、確実で迅速なサービスによって高い信頼性と本質的性能を提供します。

Cryo-Torr クライオポンプ モデル

8

>8F

>10

排気速度 - リットル/秒

水蒸気

4,000

4,000

9,000

空気

1,500

1,500

3,000

水素

2,500

2,200

5,000

アルゴン

1,200

1,200

2,500

吸蔵量 - 標準リットル

アルゴン

1,000

1,000

2,000

水素 (5x10-6 ト-ル)

12

8

24