コンプレッサ

Brooks CTI クライオジェニクスは、On-Board クライオポンプ、Cryo-Torr クライオポンプ、On-Board ウォーターポンプと連動して最適な性能を発揮するように設計された、さまざまなコンプレッサを提供します。統合されたクライオポンプ電力周波数変換器により、すべての Brooks 真空ポンプにおいて 50 Hz と 60 Hz 両方のアプリケーションで確実に最大のクライオポンプ性能が発揮されます。

IS-2000Vデータシート

モデル

  • 8200 コンプレッサ - On-Board クライオポンプ、On-Board ウォーターポンプ、Cryo-Torr クライオポンプと連動して最適な性能を発揮するように設計されています。このコンプレッサは、サイズが 8 インチ以下のすべてのポンプをサポートします。8200 は柔軟に設計されているため、システム運用上最も都合の良い場所にコンプレッサを配置できます。
  • 9600 コンプレッサ - 長い耐用期間、高い信頼性、使いやすさを重視して設計されたこのコンプレッサは、すべての Cryo-Torr クライオポンプ、On-Board クライオポンプ、On-Board ウォーターポンプ、On-Board TurboPlus 真空ポンプと連動して卓越した性能を発揮します。 9600 はシングル型とグループ型両方のポンプ構成をサポートし、世界中の CTI-Cryogenics ポンプ装置と互換性があります。
  • 9700A コンプレッサ - ヘリウム吐出量を増加した 9700A コンプレッサは、複数のクライオポンプ運用に最適です。複数のクライオポンプおよびウォーターポンプ アプリケーションの多くでは、1 つの 9700A コンプレッサで単一コンプレッサ ソリューションが提供されます。複数のコンプレッサ アプリケーションと比べて消費電力、冷却水流量、設置面積が縮小される 9700A コンプレッサは、Cryo-Torr® および On-Board® クライオポンプと互換性があります。
  • IS-1000 コンプレッサ - On-Board IS クライオポンプ用のインテリジェントで効率の高いコンプレッサ技術を採用しています。 IS-1000 コンプレッサは、9600 コンプレッサと同じ占有面積で 6 つまでの On-Board IS-8F クライオポンプをサポートします。
  • IS-2000V コンプレッサ - SEMI S-23 の目標に合わせて、より高い圧力、回転技術、柔軟なヘリウム供給を組み合わせることで、運用の全段階において最小の消費電力を実現します。 IS-2000V は 2 つの On-Board IS-1000 コンプレッサの代わりになります。 この大容量コンプレッサは、On-Board IS クライオポンプ アプリケーションをサポートします。

統合されたクライオポンプ電力周波数変換器により、すべての Brooks 真空ポンプにおいて 50 Hz と 60 Hz 両方のアプリケーションで確実に最大のクライオポンプ性能が発揮されます。