PFC水蒸気クライオチラー

Brooks Polycold® PFC水蒸気クライオチラーは、一般に高真空システムのガス負荷のうち65~95%を占める水蒸気を効果的に取り込みます。このクライオチラーは動作開始から数分で水蒸気を取り込み、4分未満で霜取りし、処理中の水蒸気分圧を低下させ、より高品質で接着性が高く、再現性の優れた堆積物が得られます。

お客様の真空システムにPFC クライオチラーを追加する事で、ポンプダウン時間を25~75%短縮することができ、生産スループットを20~100%増加させることができます。さらにPFC クライオチラーは、液体窒素冷却マイスナーと比較してコストパフォーマンスが優れており、通常、わずか1年で投資を回収することができます。

PFC データ シート

特徴

  • -90° ~ -155° C (183 ~ 118 K)
  • シンプルなチューブ タイプの冷却要素
  • モデルとアプリケーションに応じて、200,000 リットル/秒までの速度、2 x 10-12 トルまでの真空レベルで真空システム内の水蒸気を低温凝縮
  • 3600 ワットまでの熱除去
  • グローバルに適合した、非毒性、不燃性の環境にやさしい冷媒チャージ
  • 特許取得済みの極低温冷凍プロセスと混合冷媒
  • さまざまなクライオコイル構成を利用可能