低温学

CTI クライオジェニクスおよびポリコールド製品

Brooks Automationは、半導体、ディスプレイ、R&D、および一般的な真空産業向けに、高性能でエネルギー効率の高い、さまざまな極低温製品を提供しています。用途としては、半導体プロセス装置向けの超高真空発生、ディスプレイや真空コーティング装置向けの急速水蒸気クライオポンピング、クローズドループ極低温冷凍システム、スペースシミュレーション向け大規模真空チャンバー、真空および温度制御向け小規模R&Dアプリケーションが挙げられます。

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半導体産業向けの最先端クライオポンプで市場をリードするBrooks Automation