プレスリリース

半導体オートメーション

注目の製品

Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
- ウエハーハンドリングロボット
  
  大気ロボット
  
  Reliance ATR ロボット
  
  Reliance ATR ロボット
  
  Reliance ATR ロボットは､優れた性能、信頼性、およびきわめて高度なクリーン度を提供し､ダイレクトドライブテクノロジーや DSP ベースの制御電子回路を活用しています｡
  
  Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
  
  Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
  
  Razorロボットでは、今日の最先端の半導体製造事業に必要な優れた性能、信頼性、およびきわめて高度なクリーン度を提供します。Brooksキネマティックマウントシステム、特許取得済みのモーションコントロールテクノロジー、および信頼性の高いダイレクトドライブロボットを備えるRazorロボットでは、迅速なセットアップ、高い再現性、および最大の稼働時間を実現します。
  
  Razor™ アライナー
  
  Razor アライナー
  
  高性能大気Razorアライナーでは、200 mm、300 mm、または 450 mm ウエハーのきわめて精度の高いウエハー位置決め機能を提供します。最高の製造可能性を考慮して設計されたRazorアライナーおよびその他のRazorモジュールは、高品質ですぐに利用が可能です。迅速に製品を導入してリードタイムを減らすことができます。
  
  Yaskawa MR124 ロボット
  
  Yaskawa MR124 ロボット
  
  特にエッジグリップによる処理が必要な場合の、小型の装置に向けに最適なフットプリントを提供する事が出来る Equipment Front End Module (EFEM) ソリューションです。YEC SemiStar 製品は、半導体業界の EFEM ソリューションの標準であり、Brooks Automation 大気ロボットポートフォリオの主要な製品です。
  
  Yaskawa M201 ロボット
  
  Yaskawa M201 ロボット
  
  特にリニアモータトラックオプションと組み合わせる事により、効率よく迅速な切り替えを行うことのできるソリューションです。YEC SemiStar 製品は半導体業界の EFEM ソリューションの標準であり、Brooks Automation 大気ロボットポートフォリオの主要な製品です。
  
  真空ロボット
  
  MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
  
  MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
  
  MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
  
  MagnaTran® 7 Frogleg™
  
  MagnaTran® 7 Frogleg™
  
  MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
  
  MagnaTran® 7 Leapfrog®
  
  MagnaTran® 7 Leapfrog®
  
  MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) ロボットは MagnaTran 製品群のすべての機能と利点を保有し、要求の厳しいクラスタツールアプリケーションにおいて最高のスループットの提供が可能です。
  
  MagnaTran® 7 SCARA
  
  MagnaTran® 7 SCARA
  
  MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
  
  MagnaTran® 8 QuadraFly
  
  MagnaTran® 8 QuadraFly
  
  MagnaTran®8 QuadraFly ロボットは、実績ある SCARA アームテクノロジーと信頼性の高いダイレクトドライブロボットを活用し、小型コンテインメントのスイング直径内で4枚のウエハーを真空で同時に交換できます。
  
  MagnaTran® 8 Radius™
  
  MagnaTran® 8 Radius™
  
  デュアルアーム MagnaTran® 8 Radius™ ロボットは、MagnaTran の現場で実証済みのダイレクトドライブテクノロジーのメリットを3軸ドライブにも活用しています。また、MagnaTran は小型コンテインメント直径内で4秒以下で迅速に切り替えを行う実績ある SCARA アームテクノロジーを採用しています。
  
  コンポーネント
  
  InLigner™
  
  InLigner
  
  InLigner は MagnaTran ロボットと連携。ノッチまたはフラットエッジ基準のいずれかを使用して、100 ～ 200 mm SEMI 標準と JEIDA 規格のウエハーのウエハーセンタリングを行い、エッジ基準の向きを指定します。また、最大 6 インチ平方の石英マスクを含む透明あるいは正方形、もしくはその両方の基板で使用する特殊な設定も利用できます。
  
  Fusion™コントロールズ
  
  Fusion コントロールズ
  
  業界で最も柔軟かつ完全な自動化制御ソリューションです。Fusion 制御は、最大の性能と稼働時間をもたらします。完全にカスタマイズ可能できわめて使いやすいだけでなく、市場投入までの時間を短縮し、ツールの収益性を向上します。
- ウエハーハンドリングシステム
  
  真空システム
  
  VCE ロードロック
  
  真空カセットエレベータ（VCE）ロードロック
  
  ウエハー製造環境に適した 4 つのスタイルを利用可能である VCE 6 真空カセットエレベータロードロックは、コスト効率の高い最新鋭の工場とのインターフェイスを提供し、AGV、RGV、またはオペレータによる 200 mm までの SEMI 標準のウエハーカセットへ、安全でクリーンな搬送を可能にします。
  
  Marathon™ 2 搬送システム
  
  Marathon 2 搬送システム
  
  Brooks の先進的な真空ウエハー搬送テクノロジーは、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化アプリケーションに最適です。Brooks では、特定の製造環境とプロセス要件を満たす 100 ～ 450 mm ウエハー搬送向けの多数の設定で使用できる幅広いシステムを提供しています。
  
  Marathon™ Express
  
  Marathon Express 真空搬送システム
  
  Marathon Express® は、モジュール型で設定可能な真空搬送システム (VTS) であり、100 mm、125 mm、150 mm、および 200 mm サイズのウエハーのアプリケーションで優れた真空性能および高いスループットを実現するように最適化されています。
  
  大気システム
  
  Jet™ 大気搬送システム
  
  Jet 大気搬送システム
  
  すべての Brooks ウエハーハンドリングシステムの中核をなす大気自動化サブシステムである Jet は、お客様が共通のコアに基づいてプロセスツールを構築できるようシステムレベルで設計された最初の EFEM です。Jet は高速セットアップ、サイクルタイムの短縮、および既存の工場の機器やプロセスとのシームレスな統合を可能にするために、業界標準に基づく柔軟なモジュールアーキテクチャを備えています。
  
  RFIDおよび赤外線によるアセットトラッキング
- ファクトリオートメーションソリューション
  
  Spartan ウエハーソーター
  
  Spartan ウエハーソーター
  
  このウエハー統合管理システムでは、必要最小限の動作にて複雑な要求を実行することが主要な作業である。ウエハーの搬送をクリーンかつ迅速に実行します。信頼性の向上、最大限の効率性を実現するだけでなく、最小粒子レベルでの業界をリードするクリーン度も実現します。
  
  ロードポート
  
  IsoPort™ 300 ロードポート
  
  IsoPort 300 ロードポート
  
  どのようなツールへも簡単に取り付け可能な自動ウエハーハンドリングソリューション。300 mm ウエハーに移行しようとしている機器メーカーと半導体メーカーの両方に、さまざまな面で大きなメリットを提供します。
  
  Vision™ 300 ロードポート
  
  Vision 300 ロードポート
  
  Vision ロードポートモジュールは、Brooks の最新世代のロードポートモジュールです。300 mm と 450 mm のツールオートメーション向けのインテリジェントで柔軟な工場インターフェイスモジュールです。セットアップと組み込みに非常に長いリードタイムが必要な LPM と異なり、Vision ロードポートモジュールは、最高の相互運用性、シームレスな互換性、および設定の容易さを目指して設計されています。
  
  Certon™ 450ｍｍロードポート
  
  Certon™ 450ｍｍロードポート
  
  Certon™ 450mm ロードポートは、450 mm FOUP、FOSB、および MAC (Multi Application Carrier) の規格に準拠しています。
  
  レチクルハンドリング
  
  M2 レチクルチェンジャ
  
  M2 レチクルチェンジャ
  Brooks M2 レチクルチェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。
  
  ナローレチクルインデクサ
  
  ナローレチクルインデクサ
  
  レクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。
  
  SMIF ソリューション
  
  SMIF ロードポートトランスファー (LPT)
  
  SMIF ロードポートトランスファー (LPT)
  人間工学に基づいて設計された SMIF-I/O で、幅広い 200 mm および 150 mm ウエハープロセス装置および計測装置に SMIF-Pod カセットのロードおよびアンロード機能の内臓が可能です。
  
  SMIF-INX インデクサ
  
  SMIF-INX インデクサ
  Z 軸移動機能の無いウエハーハンドラー又はカセット位置のＺ軸移動が不要なZ 軸機能付きウエハーハンドラー向けに提供出来るよう設計されています。
  
  VersaPort™ 2200 ロードポート
  
  VersaPort 2200 ロードポート
  ロードポートオープナーであり、業界で最も先進的な 200 mm SMIF (Standard Mechanical Interface) I/O 処理ツール。200 mm から 300 mm への移行用の "ブリッジツール" として設計されていますが、VersaPort 2200 では SMIF の I/O 処理にオープンカセットのソリューションも提供します。
半導体コンタミネーションコントロール

注目の製品

M800完全Automatic300mm FOUPクリーナー
- 洗浄装置
  
  FOUP/ポッドクリーナー
  
  M800 300mm FOUPクリーナー
  
  M800 300mm FOUPクリーナー
  
  M800全自動300mm FOUPクリーナーは、最高のパーティクル洗浄およびAMC洗浄性能を兼ね備え、最高のスループットで湿度制御を提供します。
  
  M330全自動FOUPクリーナー
  
  M330 FOUP全自動クリーナー
  
  M330クリーナーは世界クラスの全自動FOUP互換システムで、優れた洗浄・乾燥性能、使いやすさ、コスト効率を提供します。
  
  M600自動ポッドクリーナー
  
  M600自動ポッドクリーナー
  
  M600全自動遠心力クリーナーはFOUPやFOSB、RSP200を自動洗浄するための理想的なソリューションです。手動モードでは、あらゆる種類のレチクルやウエハキャリアを洗浄できます。
  
  M300半自動FOUP/ポッドクリーナー
  
  M300半自動FOUP/ポッドクリーナー
  
  M300半自動機はあらゆる種類のキャリア（SMIF、オープンカセット、FOUP、FOSB、RSPおよびクラムシェル）のためのユニバーサル遠心力クリーナーです。比類のない洗浄と乾燥を実現します。
  
  M450 450mm FOUP/MACクリーナー
  
  M450 450mm FOUP/MACクリーナー
  
  M450全自動450mm FOUP/MACクリーナーは最高のパーティクル洗浄およびAMC洗浄性能を兼ね備え、湿度制御を提供します。
  
  EUVポッドクリーナー
  
  EUVポッドクリーナー
  
  M1000全自動EUVポッドクリーナーは、EUVまたはRSP200の各部品の個別洗浄で最大のパフォーマンスを発揮します。
- クリーンストレージ
  
  レチクルストッカー
  
  M1500 半自動
  
  M1500 半自動レチクルボックスストッカー
  
  Brooks の半自動 M1500 レチクルボックスストッカーは、ケースに最大 1,500 枚のレチクルを保管できます。レチクルボックスは ID で識別され、データファイルはデータベースに記録されます。
  
  M1900 レチクルストッカー
  
  M1900 レチクルストッカー
  
  M1900 レチクルストッカーには、全自動セミベア、全自動 RSP150、全自動 EUV ポッドストッカー、半自動の 4 つのバリエーションがあります。
  
  M1990 全自動ベア
  
  M1990 全自動ベアレチクルストッカー
  
  Brooks の M1990 は、最大 2,016 枚のレチクルを保管可能な全自動のベアストッカーです。
  
  M1995 全自動
  
  M1995 全自動コンパートメントレチクルストッカー
  
  Brooks の M1995 は、最大 2,860 枚のレチクルを保管可能な全自動のコンパートメントストッカーです。
  
  M2090 レチクルチェンジャストッカー
  
  M2090 レチクルチェンジャストッカー
  Brooks M2090 レチクルチェンジャ/ストッカーは、レチクル/マスクの交換、検査およびストッカーシステムです。
  
  ZARIS レチクル自動化システム
  
  ZARIS レチクル自動化システム
  
  さまざまなタイプのシッピングカセットおよびステッパカセットからの 5 インチおよび 6 インチレチクルのハンドリングを確実に自動化します。
  
  Reticle Storage
  
  Reticle Storage
  
  RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
  
  RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
  
  The RPS-C is a fully automated standalone storage and inventory management system for reticle SMIF pods (RSP) with optional xCDA or N2 purge.
  
  RS Bare Reticle Stocker Family
  
  RS Bare Reticle Stocker Family
  
  The RS family provides a fully automated reticle management system that combines a sorter with a stocker capacity up to 2900 reticles.
  
  RS-C Reticle Storage and Inspection System
  
  RS-C Reticle Storage and Inspection System
  
  The RS-C is a fully automated, highly flexible standalone storage and inspection system for 6".
  
  RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
  
  RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
  
  The RX family is an innovative combination of reticle stocker and carrier buffer for managing the reticles throughout the fab.
  
  RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
  
  RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
  
  The RXi is a fully automated standalone inspection system for 6”.
  
  ウエハストッカー
  
  ウエハストッカー
  
  M2100 200mm
  
  M2100 200mm ウエハストッカー
  
  Brooks の M2100 は、最大 2,200 枚のウエハを保管可能な全自動の 200mm ウエハストッカーです。
  
  M2200 300mm
  
  M2200 300mm ウエハストッカー
  
  Brooks の M2200 は、最大 2,300 枚のウエハを保管可能な全自動の 300mm ウエハストッカーです。
  
  M2400 300mm
  
  M2400 300mm ウエハストッカー
  
  Brooks の M2400 は、最大 1,200 枚のウエハを保管可能な全自動の 300mm ウエハストッカーです。
- ウェハキャリア & ボックス
  
  レチクルボックス
  
  レチクルボックス
  
  メガ光学ケース
  
  A Rapid
  
  B Ultra
  
  C Swift
  
  D Twin
  
  カスタム仕様
  
  ウエハキャリア
  
  ウエハキャリア
  
  6 " ウエハキャリア
  
  8 " ウエハキャリア
  
  ウエハ輸送ボックス
  
  ウエハ輸送ボックス
  
  200mm ウエハ輸送ボックス
  
  200mm 単一ウエハ輸送ボックス
  
  レチクルハンドリング
  
  M2 レチクルチェンジャ
  
  M2 レチクルチェンジャ
  Brooks M2 レチクルチェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。
  
  ナローレチクルインデクサ
  
  ナローレチクルインデクサ
  
  レクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。

Life Science Solutions

注目の製品

BioStore™ III Cryo -190°C ストレージ

- ライフサイエンスシステム
  
  化合物管理のためのサンプルストレージシステム
  
  SampleStore™ II
  
  SampleStore™ II 自動サンプルストレージ (-20°C 以上)
  SampleStore II は、高い信頼性とストレージ密度を実現し、モジュール化されたアーキテクチャにより適応性を最大化できるように設計されています。20 年にわたる自動サンプルストレージ製品開発で培われた専門知識を投じた SampleStore II は、創薬のための化合物ストレージから DNA および血液分画ストレージまで幅広いバイオバンキングアプリケーションに対応できます。
  
  BioStore™ II -80°C
  
  BioStore™ II -80°C 自動サンプルストレージ
  Biostore II は、高い信頼性とストレージ密度を実現し、モジュール化されたアーキテクチャにより適応性を最大化できるように設計されています。15 年にわたる自動サンプルストレージ製品開発で培われた専門知識を投じた BioStore II は、DNA から血液分画ストレージまで幅広いバイオバンキングアプリケーションに対応できます。
  
  Strata ソフトウエア
  
  Strata サンプル管理ソフトウエア
  
  Brooks Strata ストレージ管理ソフトウェアで、SampleStore II および BioStore II を極めて直観的に使用できるようになりました。簡略化されたユーザーインターフェイスによって、日々の操作を簡単に設定でき、「スーパーユーザー」向けのドリルダウンおよび詳細画面で、より詳細な情報を利用できます。
  
  Brooks へのお問い合わせ
  
  Brooks へのお問い合わせ
  
  Brooks の専門技術者が、化合物管理およびバイオリポジトリのサンプルストレージに関するお客様のご質問に直接お答えします。
  
  Sprint 6 HTS ソフトウエア
  
  HTS システム用 Sprint 6 スケジューリングソフトウェア
  Sprint 6™ 動的スケジューリングソフトウェアを使用することで、お使いのハードウェアサプライヤに関係なく、1 つのスケジューラを組織内の標準スケジューラとすることができます。またSprint 6™ は、ハイスループットスクリーニング (HTS) システムの耐用年数を延ばし、トレーニングおよび保守にかかるコストを減らし、新しい機能によりシステムの価値を高めることを可能にします。

機器&装置

Cell Imaging Cytometry

Cell Imaging Cytometry

Celigo S Cell Imaging Cytometer
The Celigo non-destructive and non-invasive brightfield analysis is complemented by multi-color fluorescence capabilities, making the system suitable for a wide variety of cell-based assays in any lab.

SQUIRT マルチフォーマットマイクロプレートウォッシャー
SQUIRT マルチフォーマットマイクロプレートウォッシャーは、クラス最高のマニホールド設計で優れた洗浄効率を実現します。

マイクロプレート、マイクロチューブ、およびバイアルハンドリング

マイクロプレート、マイクロチューブ、およびバイアルハンドリング

FlexBench™ 自動チューブバイアルハンドラ
マイクロチューブのパンチングおよび選択
XPeel 自動マイクロプレートシール除去
SQUIRT™ マルチフォーマットマイクロプレートウォッシャー
マイクロチューブおよびマイクロプレートのシール穿孔

DNA 断片化

SonicMan™ ハイパフォーマンスのマイクロプレートおよびチューブベースのサンプル調製
SonicMan ハイパフォーマンスソニケーションシステムでは、業界をリードするサンプル処理機能をベンチトップで直接利用できます。充実した機能により、チューブおよびプレートベースのサンプル調製と共に、スケーラブルなソニケーションや精密な温度制御が可能です。
植物サンプリング

植物サンプリング
PlantTrak™ Hx ハンディ型
PlantTrak™ Lx ベンチトップ型植物サンプリングおよびバーコーディング
PlantTrak™ Sx ベンチトップ型シングルマガジンアップローダ
PlantTrak™ Mx ハンディ型植物サンプリングおよびバーコーディング

消耗品

Aurora ハイパフォーマンスマイクロプレート

Aurora ハイパフォーマンスマイクロプレート

ハイパフォーマンスなプレート素材: すべての Aurora マイクロプレートはシクロオレフィンポリマー (COP) 製。アッセイの最小化: 384、1536、3456 フォーマット。蒸散の最小化: Aurora マイクロプレートは、試料ウェルからの蒸散を防止する仕組みと特別に設計された蓋を利用可能。

REMP® チューブテクノロジー

REMP® チューブテクノロジー

REMP® 使い捨てヒートシールドチューブ
REMP® キャップド
チューブシステム
REMP ストレージマイクロプレート

96チューブ
384 チューブ
キャップ
ヒートシール
蓋および穿孔蓋

Matrical マイクロプレート、マイクロチューブラック、マイクロプレートリッド、およびフラスコ

Matrical マイクロプレート、マイクロチューブラック、マイクロプレートリッド、およびフラスコ

ガラスボトム光学イメージングマイクロプレート
蛍光および発光アッセイマイクロプレート
化合物ストレージディープウェルマイクロプレート
化合物ストレージ耐薬品性マイクロプレート

ストレージマイクロチューブおよびラック
バイアルおよびマイクロチューブストレージラック
ユニバーサルマイクロプレートリッド
細胞培養スピナーフラスコ

低温学

注目の製品

On-Board® IS クライオポンプ
- Brooks CTI-Cryogenics
  
  クライオポンプおよびコンプレッサ
  
  On-Board® IS クライオポンプシステム
  
  On-Board® IS クライオポンプシステム
  
  インテリジェントな On-Board IS クライオポンプシステムは、革新的な高効率極低温技術を活用し、類を見ない真空性能とエネルギー効率を提供します。特許取得済みの分散制御システムにより、クライオポンプシステムの個々の性能に対してモニタリングと調整が常時行われるため、システム全体で最適な真空性能が維持され、他社にないプロセス整合性を実現できます。
  
  On-Board® クライオポンプ
  
  On-Board® クライオポンプ
  
  迅速な統合が可能でシステム運用を向上させる On-Board 極低温真空ポンプは、信頼性と性能における世界標準となっています。完全に統合されたコントロールと対応周辺機器を使用することで、On-Board クライオポンプは優れた稼働時間を実現し、その安定した性能によって全体的なツールの生産性と稼働時間を向上させます。
  
  Cryo-Torr® クライオポンプ
  
  Cryo-Torr® クライオポンプ
  
  Cryo-Torr クライオポンプは、重要な真空プロセスアプリケーションにおいて、クリーンで信頼性の高い高速排気を提供します。柔軟性を高めるため、特定のアプリケーションのニーズに合わせて独自にカスタマイズしたコントロールおよび対応周辺機器を追加することができます。
  
  On-Board® ウォーターポンプ
  
  On-Board® ウォーターポンプ
  
  On-Board ウォーターポンプは、水蒸気の排気速度を高めてシステムのスループットを大幅に向上させ、より優れたプロセス結果を提供する、高性能の真空ポンプです。
  
  コンプレッサ
  
  コンプレッサ
  
  Brooks CTI クライオジェニクスは、On-Board クライオポンプ、Cryo-Torr クライオポンプ、On-Board ウォーターポンプと連動して最適な性能を発揮するように設計された、さまざまなコンプレッサを提供します。統合されたクライオポンプ電力周波数変換器により、すべての Brooks 真空ポンプにおいて 50 Hz と 60 Hz 両方のアプリケーションで確実に最大のクライオポンプ性能が発揮されます。
- Brooks Polycold
  
  クライオチラーおよびクライオクーラー
  
  P-102 クライオチラー
  
  P-102 クライオチラー
  
  小型真空システムにおいて、液体窒素に代わるコンパクトで使いやすい冷却手段を提供します。この極低温冷凍機は、液体窒素を使用した場合のコスト、不便性、危険性を解消しつつ、同等の性能を発揮します。
  
  PCC コンパクトクーラー
  
  PCC コンパクトクーラー
  
  PCC コンパクトクーラーは、コンパクトで高性能の冷却システムです。高精細デジタルイメージング、分析化学、ライフサイエンス、材料分析、半導体検査、科学研究、水蒸気のクライオトラップなどの要求の厳しい用途において、今までにない効率性と信頼性を提供します。
  
  PGC ガスチラー
  
  PGC ガスチラー
  
  PGC ガスチラーは、窒素、アルゴン、空気などの圧縮ドライガスを予冷なしに外気温から極低温に冷却します。PGC ガスチラーは、ガス配管接続型熱交換器への冷媒を使用して非循環ガス流を冷却する閉ループ冷凍システムです。
  
  MaxCool クライオチラー
  
  MaxCool クライオチラー
  
  Polycold MaxCool クライオチラーは、それぞれ最大 2,500 ワット、4,000 ワットの冷却が可能な閉ループ極低温冷凍システムです。これらのクライオチラーは、クライオコイルまたはシェブロンバッフルなどの低温表面上に水蒸気および他の凝縮性物質を凍結させて捕集するために使用できます。MaxCool クライオチラーは、半導体ウエハー処理で使用される静電チャックなどの対象物を冷却、加熱するためにも使用されます。
  
  PFC水蒸気クライオチラー
  
  PFC水蒸気クライオチラー
  
  Brooks Polycold® PFC水蒸気クライオチラーは、一般に高真空システムのガス負荷のうち65～95%を占める水蒸気を効果的に取り込みます。このクライオチラーは動作開始から数分で水蒸気を取り込み、4分未満で霜取りし、処理中の水蒸気分圧を低下させ、より高品質で接着性が高く、再現性の優れた堆積物が得られます。
  
  Cryodyne 冷凍機
  
  Cryodyne 冷凍機
  
  Cryodyne 冷凍システムは、Gifford-McMahon 熱力学サイクルに基づく 2 段階の閉サイクルヘリウム冷凍システム製品群です。10K 未満から 80K 超への温度設定が利用可能なため、さまざまな商用アプリケーションと研究アプリケーションに非常に適しています。
  
  冷媒補充チャージ
  
  冷媒補充チャージ
  
  ご使用のモデル番号向け冷媒補充チャージ部品番号を調べてご注文ください。

会社概要

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