ディスプレイ製造

ディスプレイ製造には、自動化、真空、ウォーター ポンプを組み合わせた独自のソリューションが必要です。基板サイズが大きくなるにつれて、ディスプレイ メーカーにはさらに大きな荷重を搬送できる自動化設備が必要になっています。また基板サイズが大きくなることで、さらに高いガス負荷と水負荷がかかり、製造プロセスの重要な段階でポンプの必要性が高まっています。Brooks は、自動ハンドリング、真空およびウォーター ポンプのソリューション全般を提供し、急速に成長する市場のニーズに応えます。

Brooks は、広範なハイエンド アプリケーションにおいて、大気および真空での基板ハンドリング ロボットとシステムのリーダー企業としての地位を築いてきました。比類のないテクノロジーと強固な知的財産ポートフォリオの組み合わせにより、生産性の最大化と所有コストの最小化を行うソリューションを提供し、今日のメーカーが求める製造効率を実現します。

ディスプレイ テクノロジーは、前進を続けており、数年以内にプラズマ、LCD から LED、OLED へと進化していきます。OLED 製造プロセスはアルゴン、窒素の両方またはどちらかを多く含む真空環境で行われます。この環境は、酸素への暴露を原因とする OLED デバイスの急速な劣化とその後の破壊を避けるために、水汚染がない状態を維持する必要があります。Brooks は、多様なクライオポンプとウォーター ポンプを提供し、これらの製造上の困難な課題を解決します。当社の真空ポンプは、信頼性の高い高解像度ディスプレイ製造の重要な工程において水またはガスを取り除く蒸着ツール内で、いくつかの箇所に設置可能です。